노광기

stepper

반도체나 TFT LCD 등 회로 공정이 필요한 제조라인에서 카메라와 같이 포토마스크에 빛을 쪼여 반도체 웨이퍼나 TFT LCD 유리기판에 회로를 그려주는 장비를 말한다.