퍼니스

furnace

화석원료의 연소나 전기를 이용하여 열을 발생시키는 장치. 철광석용해 뿐 아니라 반도체, 태양전지 가공 등 다양한 용도로 사용된다. 반도체 제조 전 공정에서는 실리콘 웨이퍼를 단련시키는 어닐 (anneal)기능을 수행하고 태양전지 제조공정에서는 증착장비로 활용된다.