수소불화탄소

HFCs

불연성 무독성 가스로 냉장고 및 에어컨의 냉매, 발포, 세정, 반도체 공정의 에칭가스 등으로 다양하게 사용된다. 몬트리올의정서에 의해 사용이 규제된 CFCs와 HCFCs를 대체하는 물질이다.