한화정밀기계 "한미반도체 주장, 허위"…강경 대응 나선 까닭

특허권 침해 관련 피소…"강력히 법적 대응, 바로잡을 것"

SK하이닉스 납품 위한 테스트 막바지

(서울=연합인포맥스) 유수진 기자 = 한화그룹의 반도체 장비기업 한화정밀기계가 경쟁사의 특허권 침해 금지 소송에 "허위 주장"이라며 "반드시 바로잡겠다"고 밝혀 눈길을 끈다.

정면 돌파이자 강경 대응을 예고한 것인데, 주요 고객사로의 납품을 앞둔 상황에서 불필요한 오해를 불식하고 가겠단 의지를 드러낸 것으로 풀이된다. 한화정밀기계는 고대역폭메모리(HBM) 생산 관련 독보적인 1위를 자랑하는 SK하이닉스에 관련 반도체 장비 납품을 추진하고 있다.

19일 한화정밀기계는 "한미반도체의 특허 침해 주장은 전혀 사실이 아니다"라며 "전문기관 및 법원을 통해 허위 주장을 반드시 바로 잡겠다"고 입장을 냈다.

이날 오전 한미반도체[042700]가 한화정밀기계를 상대로 HBM 생산용 TC본더 특허권 침해 금지 소송을 제기했다는 언론 보도가 나온 데 따른 것이다. 한미반도체는 한화정밀기계가 장기간 자사의 TC본더 특허 기술을 침해했다고 보고 이달 초 서울중앙지법에 소장을 접수했다.

TC본더는 열 압착 방식으로 가공을 완료한 반도체 칩을 회로 기판에 부착하는 장비로, '인공지능(AI) 시대'에 주목받는 고부가 HBM 생산 과정에서 수율을 좌우할 만큼 중요도가 높다.

장비사인 한미반도체는 SK하이닉스[000660]에 TC본더를 사실상 독점 공급하며 빠르게 덩치를 키워왔다. 올해 본격적으로 'AI 붐'이 일며 지난 6월 주가가 18만9천원까지 오르기도 했다. 올해 첫 영업일에 6만800원이었다는 점을 고려하면 반년 새 3배 넘게 치솟았던 셈이다.

하지만 한화정밀기계와 싱가포르의 ASMPT가 '경쟁자'로 등장하며 분위기가 달라졌다. 이들이 SK하이닉스에 TC본더 납품을 추진하며 오랫동안 지켜온 독점 지위가 깨질 수 있다는 위기감이 감돌았다. HBM 생산에 총력을 다하고 있는 SK하이닉스는 공급망 안정화 차원에서 멀티 벤더 전략을 펴고 있다.

한화정밀기계는 이날 입장문에서 "30년이 넘는 기간 반도체 장비 관련 기술을 기반으로 자체 개발한 제품을 제조 및 판매하고 있다"며 "개발 과정에서 선행기술 조사 과정을 거쳐 특허를 침해했다는 경쟁사의 주장은 사실과 다르다"고 반박했다.

특히 "이에 대한 반박과 함께 강력한 법적 대응을 준비하고 있다"며 "한미반도체의 부당 주장은 법원의 절차를 통해 명백하게 확인될 것"이라는 경고도 덧붙였다.

한화정밀기계가 강경한 대응을 결심한 배경으로는 지금이 '중요한 때'라는 점이 고려된 것으로 보인다. 특허 침해가 사실이 아니라는 점을 분명히 짚어 사업에 지장이 없도록 하기 위한 목적이다.

업계에서는 SK하이닉스에 TC본더를 납품하기 위한 작업이 거의 막바지에 이른 것으로 보고 있다. 한화정밀기계는 올 상반기 SK하이닉스에 테스트용 장비를 제공해 지속적으로 검증을 진행해 왔다. 지난 10월엔 김승연 한화그룹 회장이 판교 R&D 캠퍼스를 찾은 자리에서 한화정밀기계의 HBM용 TC본더 장비 시연을 지켜보기도 했다.

당시 회사 측은 "현재 테스트는 순조롭게 진행되고 있다"며 "검증이 완료되는 대로 납품을 할 수 있을 것으로 예상된다"고 밝혔다.

한화정밀기계는 지난 8월 한화에어로스페이스를 인적분할해 만든 한화인더스트리얼솔루션즈의 자회사다.

sjyoo@yna.co.kr