"美, ASML에 최첨단 장비 중국 반입 가능성 제기"
26.06.19.
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(연합뉴스 제공)
(서울=연합인포맥스) 김지연 기자 = 미국 정부가 중국으로의 수출이 통제된 ASML의 최첨단 장비 EUV(극자외선 노광 장비) 한 대가 중국으로 반입됐다는 의혹을 제기했다.
18일(현지시간) 주요 외신에 따르면 하워드 러트닉 미 상무장관은 최근 네덜란드 반도체장비 대기업인 ASML의 경영진에게 ASML의 EUV 한대가 미국의 대중 수출 통제를 위반한 채 중국에 들어갔을 수 있다는 우려를 전달했다.
EUV 장비는 세계 최대 파운드리 업체 TSMC가 엔비디아와 애플용 첨단 반도체를 생산하는 데 사용하는 핵심 설비다.
미국은 도널드 트럼프 1기 행정부 시절부터 국가안보를 이유로 ASML의 EUV 장비 대중 수출을 막아왔다.
미국 정부가 어떤 근거를 토대로 의혹을 제기했는지는 알려지지 않은 가운데 ASML 측은 이런 미국의 의혹을 강하게 부인했다.
ASML은 EUV 장비가 스쿨버스 크기에 달하는 초대형 장비로, 생산량도 제한적이며 지속적인 유지 보수가 필요해 중국 내 반입 여부를 쉽게 확인할 수 있다고 설명했다.
ASML 대변인은 "지금까지 ASML은 중국에 EUV 장비를 판매한 적이 없으며, EUV 장비 전용 부품이나 모듈, 장비도 공급하지 않았다"고 밝혔다.
jykim@yna.co.kr
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김지연
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