"TSMC, 연내 ASML의 차세대 EUV 노광장비 공급 받아"

"TSMC, 연내 ASML의 차세대 EUV 노광장비 공급 받아"



(서울=연합인포맥스) 이윤구 기자 = 세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 기업 대만 TSMC(NYS:TSM)가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 공급받는다.





1일 닛케이아시아에 따르면 올해 말까지 TSMC는 첨단 EUV 노광장비인 '하이(High) 뉴메리컬애퍼처(NA) EUV'의 첫 선적을 받을 예정이다.

ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 독점 생산하는 기업이다. 세계에서 가장 비싼 반도체 제조 장비로, 1대당 가격이 약 3억5천만달러(약 4천831억원)로 F-35 전투기 약 3대의 가격에 해당한다. 반도체 전(前) 공정의 하나인 노광 공정은 웨이퍼에 미세하고 복잡한 전자 회로를 인쇄하는 과정이다.

매체는 해당 장비가 대만 북부 신주 TSMC의 12 팹(fab·반도체 생산공장) 연구개발(R&D) 센터에 설치되며 'A10 기술' R&D에 투입될 것이라고 보도했다.

소식통에 따르면 TSMC는 A10 생산 기술을 도입한 이후 2030년 이후 상업 생산에 이 기계를 사용하는 것을 고려할 것이라고 한다. A10 기술은 차세대 1nm(나노미터·10억분의 1m) 관련 공정을 의미한다. TSMC가 내년 말까지 생산을 목표로 하는 2nm 칩보다 약 2세대 이상 앞선 기술이다.

yglee2@yna.co.kr



<저작권자 (c) 연합인포맥스, 무단전재 및 재배포 금지, AI 학습 및 활용 금지>