초소형 미세공정 시스템
micro electro mechanical systems
반도체 공정기술과 미세가공기술을 조합해 마이크론미터(100만분의 1) 이하 초미세 구조물이나 기계 등을 제작하고 시스템화하는 기술. 반도체는 이러한 기술을 이용하여 전류나 혹은 전압을 제어하는 소자를 만드는 게 주된 반면, 멤스는 기본적으로 움직이는 구조물을 만드는 게 주요 목적이다. 잉크젯프린터의 헤드ㆍ압력센서ㆍ가속도 센서ㆍ자이로스코프ㆍ프로젝터 등에 사용되며 다방면으로 응용이 가능하다. 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등으로도 불린다.
