과불화탄소
PFCs
탄소와 불소의 화합물로 온실가스의 한 종류이다. 주로 반도체제조 공정에서 사용된다. 세계반도체협의회는 전세계 반도체 기업의 과불화탄소(PFCs) 배출량을 2010년까지 1995년 기준으로 평균 10% 이상 감축하기로 합의한 바 있다.
PFCs
탄소와 불소의 화합물로 온실가스의 한 종류이다. 주로 반도체제조 공정에서 사용된다. 세계반도체협의회는 전세계 반도체 기업의 과불화탄소(PFCs) 배출량을 2010년까지 1995년 기준으로 평균 10% 이상 감축하기로 합의한 바 있다.