수율관리시스템
Yield Management System
반도체 생산시 수율의 극대화를 위해 생산 공정 중 발생하는 각종 웨이퍼 데이터(회로 선폭, 박막 두께 등)를 분석, 관리하는 시스템.
Yield Management System
반도체 생산시 수율의 극대화를 위해 생산 공정 중 발생하는 각종 웨이퍼 데이터(회로 선폭, 박막 두께 등)를 분석, 관리하는 시스템.