한국경제

블랭크 마스크

blank mask

반도체와 TFT-LCD의 리소그래피 공정에 쓰이는 포토마스크의 원재료로 석영 유리 기판에 크롬막과 감광액을 입힌 것. 반도체 회로설계에 사용되며 고순도의 석영 잉곳 제작 및 웨이퍼 가공에는 상당수준의 기술력이 필요하다.